為了特定目的而在室內(nèi)造成一定的空氣流動狀態(tài)與分布，通常叫做氣流組織。一般來說，空氣自送風(fēng)口進(jìn)入房間后首先形成射入氣流，流向房間回風(fēng)口的是回流氣流，在房間內(nèi)局部空間回旋的則是渦流氣流。為了使工作區(qū)獲得低而均勻的含塵濃度，潔凈室內(nèi)組織氣流的基本原則是：要最大限度地減少渦流；使射入氣流經(jīng)過最短流程盡快覆蓋工作區(qū)，希望氣流方向能與塵埃的沉降方向一致；使回流氣流有效地將室內(nèi)灰塵排出室外。可見潔凈車間與一般的空調(diào)車間相比是完全不同的。潔凈室的氣流組織形式和換氣次數(shù)的確定，應(yīng)根據(jù)熱平衡、風(fēng)量平衡以及凈化要求計算而得到，并取最大值。潔凈室的氣流組織形式是實現(xiàn)凈化環(huán)境的重要保證措施。一般氣流組織形式有非層流方式或?qū)恿鞣绞絻煞N。用高度凈化的空氣把車間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋，叫做非層流方式(亂流方式)。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式，從側(cè)壁方向刮入清潔空氣，從對面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇健y流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化，但通常潔凈度要求10000級時，換氣次數(shù)在25~35次/小時范圍內(nèi)；潔凈度要求100000級時，換氣次數(shù)在15~25次/小時范圍內(nèi)；潔凈度要求300000級時，換氣次數(shù)在12~18次/小時范圍內(nèi)。層流方式通常規(guī)定了氣體流速為0.25~0.5M/S。1.亂流方式的優(yōu)點：1)過濾器以及空...
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一、無菌醫(yī)療器械生產(chǎn)潔凈廠房的總體要求無菌醫(yī)療器械生產(chǎn)在條件可能的情況下，廠區(qū)應(yīng)盡量的選擇在空氣清新、含塵含菌量低、無有害性氣體等周圍環(huán)境較為清潔和綠化較好的地區(qū)，不要選在多風(fēng)沙的地區(qū)和有嚴(yán)重灰塵、煙氣、腐蝕性氣體污染的工業(yè)區(qū)。若條件不允許，必須位于工業(yè)污染或其它人為污染、灰塵較嚴(yán)重的地區(qū)時，要在其全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)。廠區(qū)內(nèi)的主要路面、消防車道等應(yīng)平整寬暢，盡量選用堅固、不易起塵的材料建造。潔凈廠房應(yīng)盡量遠(yuǎn)離鐵路、公路、機場等交通干道，且與交通主干道之間的距離不宜小于50m。不論是新建或改建的潔凈車間周圍都要進(jìn)行綠化，四周應(yīng)無積水、無垃圾、無雜草等。對于潔凈廠房的總體布局應(yīng)遵循以下的原則：廠房位置要盡量設(shè)在人流物流較少的地方。潔凈室內(nèi)布局人流方向要由低潔凈度級別的潔凈室向高一級別的潔凈室過渡。在不影響生產(chǎn)工藝流程的情況下，要按照產(chǎn)品實現(xiàn)過程的順向布置，并盡可能將潔凈度要求相同的潔凈室安排在一起。為了減少交叉污染和便于系統(tǒng)布置，在同一潔凈室內(nèi)，應(yīng)盡量將潔凈度要求高的工序布置在潔凈氣流首先到達(dá)的區(qū)域，容易產(chǎn)生污染的工序布置在靠近回、排風(fēng)口的位置。在相關(guān)設(shè)備布局方面，潔凈室內(nèi)只布置必要的生產(chǎn)工藝設(shè)備，容易產(chǎn)生灰塵和有害氣體的工藝設(shè)備或輔機應(yīng)盡量布置在潔凈室的外部。無菌醫(yī)療器械生產(chǎn)企業(yè)為了控制污染，或?qū)⑦@種污染的可能性降至最低，必須要有整潔的生產(chǎn)環(huán)境及與所生產(chǎn)的產(chǎn)品相適應(yīng)的廠房設(shè)施，包括...
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無塵凈化車間的控制系統(tǒng)如下：1、無塵凈化車間的溫濕控制：這項控制是讓工作人員有個好的工作環(huán)境，取決于空調(diào)、加濕機、恒溫恒濕設(shè)備等設(shè)備。2、無塵凈化車間的氣壓控制：又叫凈化車間壓差控制，主要取決于：回風(fēng)量、送風(fēng)量、排風(fēng)量，一般壓差控制在：20%~30%之間，室內(nèi)有壓差表檢測。3、無塵凈化車間的照度控制：主要取決于凈化燈的多少和密度及燈的布置。4、無塵凈化車間的防靜電控制：一般電子廠需要對防靜電進(jìn)行控制，取決于設(shè)備絕緣度、摩擦、使用的工具等。5、無塵凈化車間的等級控制：塵埃粒子數(shù)控制，主要取決于換氣次數(shù)和過濾等級，換氣次數(shù)越高效果越好，過濾器分為：初、中、高、超高。6、無塵凈化車間的噪聲控制：一般醫(yī)藥、 電子行業(yè)需要對噪音進(jìn)行控制(分貝)，取決于小型凈化器聲音、FFU出風(fēng)聲、機器聲、風(fēng)機轉(zhuǎn)速聲音、送風(fēng)聲音、離心風(fēng)機轉(zhuǎn)速聲等。凈化專家分析無塵凈化車間節(jié)能方法如下：1、合理布置、降低能耗廠址、總平面布置，遠(yuǎn)離污染物、注意朝向、加強綠化；工藝布置：減少潔凈面積、減少高級別面積、恰當(dāng)?shù)目諝鉂崈舳鹊燃墶⒔M織好人流、物流和輔助用房、作好空間規(guī)劃；建筑平面、立面設(shè)計：密閉性好、氣密性好。2、節(jié)能減排凈化車間全面落實降能耗、減成本；從理念上、設(shè)計建造、運行管理等方面均應(yīng)十分重視節(jié)約能源措施的制定、落實；新建凈化車間，從設(shè)計、規(guī)劃開始“節(jié)能”；已建凈化車間，節(jié)能改造、“大有所為”，正常運行中凈化車間，落...
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隨著社會經(jīng)濟的發(fā)展和其他行業(yè)資本的大量涌入，食用菌規(guī)模化生產(chǎn)發(fā)展迅速，隨著食用菌規(guī)模化生產(chǎn)的發(fā)展，不同規(guī)模和級別的凈化車間(潔凈室)，在整個食用菌行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。由于很多單位和公司缺乏全面地了解專業(yè)的凈化知識，只注重高大上的前期投入，而忽視凈化車間后期的管理和維護(hù)，使其在使用過程中達(dá)不到預(yù)期效果，最后成為一種擺設(shè)。實踐證明潔凈室的使用能否達(dá)到預(yù)期設(shè)計的效果，不但和潔凈室的選址、設(shè)計、施工有關(guān)，而且與潔凈室的正確使用和科學(xué)維護(hù)密不可分。一、食用菌凈化車間的使用(1)什么樣的車間才是食用菌凈化車間凈化車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的塵粒、微生物、有害氣體等污染物進(jìn)行過濾和阻隔，并且要把室內(nèi)的潔凈度、溫度濕度、照明度、氣壓、氣流速度、氣流分布、以及噪音等控制在某一需求范圍，而所給予特別設(shè)計的房間。只有符合凈化車間的定義標(biāo)準(zhǔn)的食用菌生產(chǎn)車間才是真正意義上的凈化車間。(2)食用菌凈化車間等級的定義食用菌凈化車間的等級標(biāo)準(zhǔn)是參考國家凈化標(biāo)準(zhǔn)的。潔凈等級是根據(jù)潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。食用菌凈化車間的建設(shè)即要注重場地的選擇也要注重科學(xué)設(shè)計。在食用菌生產(chǎn)中一般把接種室設(shè)計成萬級，接種間內(nèi)配套超凈工作臺或?qū)恿髡诌M(jìn)行接種。其它輔助車間如冷卻室、人流物流通道等設(shè)計成十萬級。(3)食用菌凈化車間設(shè)備的管理和使用凈化車間專人管理，專人負(fù)責(zé)開關(guān)機...
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隨著半導(dǎo)體工藝制程的進(jìn)步，大規(guī)模集成電路的制程精度已經(jīng)全面進(jìn)入納米時代，隨著對氣流組織以及微環(huán)境控制的研究，固體顆粒污染物對于潔凈室環(huán)境的影響越來越容易控制，而空氣分子污染AMC ( Airborne Molecular Contamination )逐漸成為影響潔凈室環(huán)境和工藝制程良率的重要影響因素，而如何有效地去除AMC污染則成為近年來暖通空調(diào)行業(yè)研究的重點問題。1 AMC污染的危害與防護(hù)一般而言AMC污染中有幾個主要污染物為堿類NH3、酸類SOx、NOx、HCl及有機類的TVOC等，而主要污染區(qū)域有以下幾個：一是NH，會和光阻劑發(fā)生中和反應(yīng)，形成T-Topping缺陷；二是各類有機污染物會附著在晶圓表面，導(dǎo)致組件氧化膜特性惡化；三是NH、各類酸類會發(fā)生反應(yīng)形成(NH4) 2SO4鹽霧等在光刻機鏡頭上結(jié)晶，造成鏡頭霧化。光刻機是整個半導(dǎo)體工藝的核心，光刻機鏡頭又是光刻機的心臟，對于這樣一個成本達(dá)到千萬甚至上億美元的設(shè)備，采取切實有效的防護(hù)措施是非常必要的。目前對AMC污染的防護(hù)措施有兩種，一種是采取吸附型化學(xué)過濾器，這類材料會針對不同的污染成分進(jìn)行處理，但是此種產(chǎn)品價格高，無法反復(fù)利用，同時針對不同污染物需要多層過濾，增加系統(tǒng)阻力。第二種就是利用水對空氣進(jìn)行清洗，將空氣中分子污染成分通過水進(jìn)行良好的吸收，而水又是相對廉價的介質(zhì)，清洗后的廢水通過一定的處理還可以回收再利用，但是水...
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隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，尤其是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展，促使?jié)崈艏夹g(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進(jìn)。現(xiàn)代化工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。電子計算機就是微型化產(chǎn)品中最具代表性的產(chǎn)品之一，電子管到半導(dǎo)體分離器件到集成電路再到超大規(guī)模集成電路。特別是20世紀(jì)80年代大規(guī)模集成電路和超大集成電路的迅速發(fā)展，大大促進(jìn)潔凈技術(shù)的發(fā)展。一、概念及原理Fan Filter Unit (風(fēng)機過濾單元機組)簡稱FFU，是由高效過濾器( HEPA)或超高效過濾器(ULPA)、微型風(fēng)機、殼體組合而成的凈化空調(diào)末端，其用于亂流及層流潔凈室內(nèi)。FFU通常都是與吊頂骨架配合使用，根據(jù)吊頂骨架的不同選擇與之對應(yīng)的FFU。FFU 的潔凈方式可以實現(xiàn)空氣潔凈度等級要求在IS03~IS09之間的潔凈室。常見的潔凈室空氣處理方式有兩種，分別是MAU+AHU+HEPA (以下簡稱AHU系統(tǒng))和MAU+FFU+DC干盤管(以下簡稱FFU系統(tǒng))。通過對兩種方式的比較得出：FFU在凈化空調(diào)系統(tǒng)中充當(dāng)了凈化循環(huán)機組，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量等于潔凈室內(nèi)FFU的風(fēng)量總和。潔凈室的空氣是由FFU從潔凈天花夾層中送進(jìn)潔凈室內(nèi)，并通過回風(fēng)夾道將循環(huán)空氣再送回到天花夾層：循環(huán)空氣在通過回風(fēng)夾道時與安裝在夾道中的DC干盤管進(jìn)行熱量交換。二、特點及應(yīng)用FFU的特點：低能耗、低噪音、方便靈活、節(jié)約空...
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在高效過濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)DOP檢漏時，在高效過濾器的上風(fēng)側(cè)必須設(shè)有DOP的導(dǎo)入裝置及濃度檢測管。這兩個管子也可以用來檢測過濾器的阻力。在檢測中，如果室內(nèi)干擾因素太多，為排除干擾，可在風(fēng)口出口加隔離罩，在罩內(nèi)進(jìn)行檢測，這樣檢測的數(shù)據(jù)較為準(zhǔn)確。尤其要注意的是，在過濾器和安裝框架之間的檢漏，可以沿安裝框架檢漏，也可以送風(fēng)口箱體斷面上檢漏，但要排除卷吸氣流的干擾，要避免箱體.上的積灰干擾，尤其是采樣口不能接觸高效風(fēng)口箱體或過濾器的框架。在有速度的氣流中采樣，采樣速度應(yīng)等于氣流速度，否則采樣濃度將大于或小于真實濃度，即氣流速度大于采樣速度，采樣濃度將大于真實濃度，反之，氣流速度小于采樣速度，采樣濃度將小于真實濃度。假定高效過濾器下實際斷面風(fēng)速為0. 45 m/s，圓形取樣口直徑Ds的計算：V×1/4×πDs =Fa 2F——儀器采樣量，28.3 L/min=472 cm3/sV——過濾器面風(fēng)速0.45 m/s經(jīng)計算Ds=36.5mm實際上儀器的取樣口直徑為35mm或正方形30×30 mm，當(dāng)然取樣口也可以是長方形的，經(jīng)計算此時的采樣速度為0.49~0.52 m/s，可以認(rèn)為是等速采樣。根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)組織(ISO) 關(guān)于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的測試和測試方法(IS014644- -3)中公式計算： Sr≤Cc×Ps×K×Dp×Fs/...
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一、百級潔凈室運用FFU風(fēng)機過濾單元設(shè)計方案1、百級區(qū)吊頂滿布FFU風(fēng)機凈化單元。2、潔凈風(fēng)從百級區(qū)側(cè)墻下部高架地板或進(jìn)入豎風(fēng)道，通過豎風(fēng)道進(jìn)入靜壓箱，經(jīng)FFU風(fēng)機凈化單元送入室內(nèi)達(dá)到循環(huán)作用。3、百級區(qū)上部FFU風(fēng)機凈化單元垂直送風(fēng)，百級區(qū)FFU風(fēng)機凈化單元與吊架間的滲漏，為室內(nèi)流向靜壓箱，對百級區(qū)潔凈度造成影響較小。4、FFU 風(fēng)機凈化單元重量輕，采用罩入式安裝方式，使安裝、更換過濾器及維修更加方便。5、縮短建設(shè)周期。FFU 風(fēng)機過濾單元系統(tǒng)節(jié)能顯著，從而解決了空調(diào)機房龐大、空調(diào)機組運行費用增高的集中送風(fēng)的缺點6、FFU 獨立性的結(jié)構(gòu)特點，可隨時調(diào)整，彌補潔凈室機動性不足，從而解決了生產(chǎn)工藝不宜調(diào)整的缺點。7、潔凈室中運用FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足潔凈室的需求，因此在半導(dǎo)體或其它制造行業(yè)中運用FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設(shè)計方案。二、百級潔凈室FFU高效過濾器安裝條件1、高效過濾器安裝前，必須對潔凈室進(jìn)行全面清掃、擦凈，凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)部如有積塵，應(yīng)再次清掃、擦凈，達(dá)到清潔要求。如在技術(shù)夾層或吊頂內(nèi)安裝高效過濾器，則技術(shù)夾層或吊頂內(nèi)也應(yīng)進(jìn)行全面清掃、擦凈。2、安裝時潔凈室內(nèi)必須已經(jīng)密閉， FFU安裝完畢并開始運行，凈化空調(diào)必須試運轉(zhuǎn)，連續(xù)運轉(zhuǎn)12小時以上，...
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一、前言隨著我國經(jīng)濟和科技的高速發(fā)展，以電子產(chǎn)品為主的高科技產(chǎn)品生產(chǎn)得到了迅速的發(fā)展，大量的集成電路制造工廠、液晶制造工廠以及各類電子產(chǎn)品制造工廠大量興建。電子工業(yè)廠房大多是密閉的建筑，并且通道狹窄曲折，在生產(chǎn)過程中存在可燃有毒的特殊氣體和化學(xué)品，其生產(chǎn)的特殊要求對廠房給排水及消防系統(tǒng)的設(shè)計提出了新的要求。2008年12月15日，由國家工業(yè)和信息化部主編，國家住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部批準(zhǔn)，國家住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部、國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局聯(lián)合發(fā)布了《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》，并于2009年7月1日正式實施，明確要求了電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計要求，以保證電子工業(yè)廠房的給排水系統(tǒng)的合理性及消防安全性。日前，全國各地商廈工廠不時出現(xiàn)消防問題，電子工業(yè)廠房也發(fā)現(xiàn)了不少消防漏洞，其給排水系統(tǒng)及消防問題不得不引起重視。二、室外消火栓給水系統(tǒng)施工1、熟悉相關(guān)資料研讀施工圖紙設(shè)計說明、平面圖等，進(jìn)行圖紙會審，最后確定挖溝深度、寬度、經(jīng)過路線。并核對管線路由、相關(guān)地下管線以及構(gòu)筑物的資料。2、編制施工組織設(shè)計方案施工流程：定位放線→溝槽開挖→室外埋地管道基礎(chǔ)→室外管道安裝→管道下管與配管→管道支墩→管道檢驗與試壓→安裝室外消火栓→隱蔽工程驗收→溝槽的回填土→竣工驗收。3、溝槽開挖(1)當(dāng)管道的測量定位線經(jīng)復(fù)核無誤后，即可進(jìn)行溝槽開挖，可采用小型勾機進(jìn)行機械開挖、局部可以人工開挖。混凝土路面和瀝青路面的開挖應(yīng)使用...
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一、局部高級別凈化代替全面高級別凈化設(shè)計時應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的實際要求，該高則高，該低則低。在允許的情況下盡量將高級別凈化的加工空間控制在小區(qū)域范圍內(nèi)，盡量減少高凈化級別面積，以局部高級別凈化代替全面高級別凈化，以降低初投資和運行費用。我國“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073-2001”中提供的“混合流”以及在集成電路芯片廠中推薦的“微環(huán)境”技術(shù)都是基于這一出發(fā)點。(1) 混合流潔凈室：所謂混合流潔凈室就是將非單向流和單向流兩種所流流型組合在一個潔凈室內(nèi)就構(gòu)成了混合流。其特點就是潔凈度要求嚴(yán)格的生產(chǎn)活動空間設(shè)計成高潔凈級別的單向流.流型，而其他空間則采用潔凈級別低的非單向流流型，這樣即能滿足產(chǎn)品對空氣潔凈度的要求又能降低造價和運行費。對于混合流潔凈室而言就是整體.上是非單向流流型，僅僅在潔凈度要求高的部位采用單向流流型。單向流四周可設(shè)軟圍擋或垂簾，也可不設(shè)。(2) 微環(huán)境(SMIF) 技術(shù)：所謂微環(huán)境技術(shù)它是工藝設(shè)備、建筑裝修、潔凈技術(shù)與自動控制等學(xué)科有機結(jié)合的產(chǎn)物。它是將集成電路芯片加工封閉在多個高潔凈度(0.1μm，1級)，高精度溫、濕度控制(溫度精度+0.1℃，相對濕度精度+2%)的微環(huán)境小室之中，而這些微環(huán)境小室被包圍在潔凈度級別低(0.5pμm，1000級) 溫、濕度精度低(溫度精度+1℃，相對濕度精度+5%)的大環(huán)境之內(nèi)并且與大環(huán)境相隔離。操作人員、支持系統(tǒng)和輔助設(shè)備...
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