潔凈廠房雖不同于一般工業廠房，但在材料與構造的耐火性能以及火災的火勢形成、發展與擴散等基本特性方面，兩者都基本一致。所以《建筑設計防火規范》(以下簡稱防火規范)中不少條文同樣適用于潔凈廠房。本文主要結合潔凈廠房的下列特點，對于防火規范尚未包括或者不全適合的部分作必要的補充：1空間密閉，火災發生后，煙量特大，對于疏散和撲救極為不利。同時由于熱量無處泄漏，火源的熱輻射經四壁反射室內迅速升溫，大大縮短全室各部位材料達到燃點的時間。當廠房外墻無窗時，室內發生的火災往往一時不容易被外界發現，發現后也不容易選定撲救突破口。2平面布置曲折，增加了疏散路線上的障礙，延長了安全疏散的距離和時間。3若干潔凈室都通過風管彼此串通，當火災發生，特別是火勢初起未被發現而又繼續送風的情況下，風管成為煙、火迅速外竄，殃及其余房間的重要通道。4室內裝修使用了一些高分子合成材料，這些材料在燃燒時產生濃煙，散發毒氣，有的燃燒速度極快。5某些生產過程使用易燃易爆物質，火災危險性高。例如：甲醇、甲苯、丙酮、丁酮、乙酸乙脂、乙醇、甲烷、二氯甲烷、硅烷、異丙醇、氫等，都是甲、乙類易燃易爆物質，對潔凈廠房構成潛在的火災威脅。此外，潔凈廠房內往往有不少極為精密、貴重的設備，建設投資十分昂貴，一旦失火，損失極大。鑒于以上幾方面的特點，為了保障生命、財產的安全，盡量減少火災中的損失，本文分別從防止起火與燃燒，便利疏散與搶救這兩個方面...
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2025
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一、潔凈室的照明一般要求照度高。但燈具安裝的數量受到送風風口數量和位置等條件的限制，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數最少。熒光燈的發光效率一般是白熾燈的3~4倍，而且發熱量小，有利于空調節能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于自然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內外潔凈室一般均采用熒 光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達到設計照度值，在此情況下，可采用其它光色好、光效更高的光源。由于某些生產工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產工藝和測試設備有干擾時，也可采用其它形式光源。二、照明燈具 的安裝方式是潔凈室照明設計的重要課題之一。隨著潔凈技術的發展普遍認為要保持潔凈室內的潔凈度關鍵有3個要素：1使用合適的高效過濾器。2解決好氣流流型，維持室內外壓差。3保持室內免受污染。因此，能否保持潔凈度主要取決于凈化空調系統及選用的設備，當然也要消除工作人員及其它物體的塵源。眾所周知，照明燈具并不是主要塵源，但如果安裝不妥，將會通過燈具縫隙滲入塵粒。實踐證明，燈具嵌入頂棚暗裝，在施工中往往與建筑配合誤差較大，造成密封不嚴，不能達到預期效果，而且投資大，發光效率低。實踐和測試結果表明，在非單向流潔凈室中，照明燈具明裝并不會使潔凈度等級有所下降。鑒于以上原因，我們認為，在潔凈室中燈具安裝應以吸頂明裝為好。但是，若燈具...
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一、潔凈廠房內有較多的電子設備系單相負荷，存在不平衡電流。而且環境中有熒光燈、晶體管、數據處理以及其它非線性負荷存在，配電線路中存在高次諧波電流，致使中線性流有較大的電流。而TN-S或TN-C-S接地系統中有專用不帶電的保護接地線(PE)，因此安全性好。二、在潔凈廠房中，工藝設備用電的負荷等級應由它對供電可靠性的要求來確定。同時，它又與為凈化空調系統正常運行的用電負荷，如送風機、回風機、排風機等有密切的聯系。對這些用電設備的可靠供電是保證生產的前提。在確定供電可靠性方面，下列幾個因素應予以考慮：1.潔凈廠房是現代科學技術發展的產物。隨著科學技術的日新月異，新技術、新工藝、新產品不斷出現，產品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。2.潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產品質量有很大影響。因此，必須保持凈化空調系統的正常運行。據了解，在規定的空氣潔凈度下生產的產品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內空氣會很快污染，影響產品質量。3.潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風中斷，室內的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。潔凈廠房內對供電有特殊要求的用電設備宜設置不間斷電源(UPS)供電。對供電有特殊要求的用電設備是指采用備用電源自動投入方式或柴油發電機組應急自啟動方式仍不...
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2025
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一、氣體管道的連接1.氣體管道的連接目前都是采用焊接，主要是能確保管道連接的嚴密性。鍍鋅鋼管一般是螺紋連接，由于施工較麻煩且嚴密性比焊接要難以保證，有少數單位采用焊接，它帶來的問題是破壞了管道原有的鍍鋅層，容易生銹，焊接時出現有刺激性的異味對人體有害，而且管道內壁有脫落的鍍層給吹掃帶來困難并污染氣體，為此規定鍍鋅鋼管采用螺紋連接。不銹鋼管承插焊連接的好處是便于管道對中，方便焊接，缺點是由于管道與承插件之間有間隙，產生死角，吹掃時不易吹除干凈。對高純氣體要求高和嚴格的生產工藝會影響其產品質量，為此規定采用對接焊并要求內壁無焊縫，它是氬弧焊接時不施加不銹鋼焊絲，利用焊件本身熔化填滿焊縫。2.管道與設備采用軟管連接時規定采用金屬軟管，以往有些單位采用非金屬軟管兩端加卡箍固定，優點是軟管連接管道柔軟，長度隨意，連接方便，但由于非金屬管道對氣體和水的滲透性和吸附性都比金屬管道差，而且易老化變形，極易造成氣體滲漏影響氣體質量。現在不銹鋼金屬軟管品種多、規格全、連接方式多樣、使用壽命長，尤其對高純氣體不造成污染等優點，但價格較貴，綜合比較是合適的，為此推薦宜采用金屬軟管。3.高純氣體管道與閥門連接的密封材料采用金屬墊或雙卡套。具體選擇要隨生產工藝對高純氣體質量的要求和氣體本身特性決定。金屬墊的密封型式嚴密性好、氣體不滲漏和污染，通常用于高純氫或氮氫混合氣系統以及要求氣體雜質十分嚴格的生產工藝，如...
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2025
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一、國內現有潔凈廠房內氣體管道的干管、支干管與水管、電纜等基本上是敷設在技術夾道、管廊、上下技術夾層內，符合潔凈室生產工藝和美觀的要求，也便于各種管道的安裝和維修。規定與水、電管線盡量共架，是從節省管架的鋼材耗量，少占空間，降低廠房層高，并考慮到氣體管道的特性，一旦產生泄漏易于發現和排除，為此規定共架時應設在其它管道的上部。二、引入潔凈室氣體管道及管架設裝飾面板，這種做法既滿足生產工藝的要求，又保持潔凈室的整潔美觀，面板的顏色通常與潔凈室內的環境相協調；也可與水管道等的裝飾面板統一設置。為了安全，防止可燃氣體泄漏時積聚，可燃氣體管道應敷設在裝飾面板的外側，水平敷設時應在其頂部便于向上擴散，通過報警探測器予以發現和排除。三、氣體管道的管徑通常應按氣體流量、壓力和流速確定。考慮了高純氣體使用場所的特殊性：一是生產工藝復雜，加工精細，技術更新換代快，生產工藝隨時調整；二是，有些生產設備用氣量很小，為此管徑要考慮并能適應生產調整的需要，如氣體干管不一定要按流量計算逐級設變徑，同時還應注意到管徑過大，不僅浪費材料而且對高純氣體管道初次吹掃，放空時間長，氣體消耗量大。尤其當間斷用氣，由于氣體流速小，要達到規定的氣體質量較困難或者需要很長的時間。各種高純氣體在輸送過程中應盡量減少污染，同時考慮管道系統易于吹除，因此管道系統應盡量短，不應出現“盲管”等不易吹除的死角。為便于在高純氣體管道投入使用前...
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2025
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一、一般要求1）潔凈廠房內管道的敷設方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度，因此，首先要求管道盡量在潔凈室外敷設，以最大限度地減少潔凈室內的管道。目前，潔凈廠房的管道布置形式有：1各種干管布置在技術夾層、技術夾道、技術豎井內。特別是有上下夾層的潔凈廠房，給水排水干管大都設在下夾層內。2暗裝立管可布置在墻板、異型磚、管槽或技術夾道內。3支管由干管或立管引入潔凈室，最好從上、下夾層引入20~30cm與設備二次接管相連。4安裝在技術夾道內的管道及閥件，可明裝也可暗裝在壁柜內。壁柜上適當加設活動板，便于檢修。2）潔凈廠房均為恒溫恒濕房間，而生產工藝需要的給水排水管道又有不同的水溫要求，管內外的溫差使管外壁結露，影響室內溫濕度。因此，對于有可能結露的管道應采取防結露措施是必要的。對于防結露層外表面，可以采用鍍鋅鐵皮或鋁皮作外殼，便于清洗并不產生灰塵。3）穿管處的密封是保證潔凈室空氣潔凈度的重要一環。潔凈室內的潔凈空氣向外滲漏也會造成能量的浪費，甚至影響室內的潔凈度。實踐證明采用套管方式是行之有效的。當實在無法做套管的部位也必須采取嚴格的密封措施。主要的密封方法有微孔海綿、有機硅橡膠、橡膠圈，及環氧樹脂冷膠等。二、給水1）潔凈廠房內的生產工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統要求較為嚴格，如大規模集成電路的超純水、醫藥工業的無菌水等。而且有的水系統的造價高、管理要求嚴格，因此應該根據不同的要求...
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2025
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潔凈室的噪聲一般不算高，但調查數據差異較大，相差近10dB(A)。 國內關于噪聲對健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業噪聲，對健康的影響不太大。因此，潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語言通訊干擾和對工作效率的影響。國外潔凈室噪聲標準的研究工作開始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯邦標準209a和1974修訂的209b規定：“潔凈室的噪聲控制在可能進行必要的通話，滿足操作或產品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內”。在ISO/DIS14644-4標準(草案)中規定：“應依據潔凈室內人的舒適和安全要求及環境(如其它設備)的背景聲壓級來選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40~65dB(A)”。從收集的國內外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯系，提供舒適的工作環境。絕大多數標準給出的允許值在65~70dB(A)范圍，醫療行業則更低。現行的大多數標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統一的容許值。根據調查研究，若以65dB(A)作為潔凈室噪聲允許值標準，工人感到高煩惱的百分率低于30%，對集中精神感到有較高影響的...
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2025
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潔凈室設計基本上有兩種基本的氣流組織，分別為亂流式氣流組織和單向流氣流組織。一、非單向流式氣流組織設計要點亂流式流潔凈室原理：一般的非單向流潔凈室，如以雷諾數判斷，屬于紊流流態。其工作原理是稀釋作用，具體而言：當干凈的氣流從送風口送入室內時，迅速向四周擴散、混合，同時把差不多同樣數量的氣流從回風口排走，干凈氣流稀釋室內的空氣，把原來含塵濃度很高的室內污染物沖淡了，一直達到平衡。所以氣流擴散得越快、越均勻，稀釋的效果就越好。非單向流潔凈室的主要特點是從送風口到回風口之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以，送風口以后的流線彼此有很大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產生。這就決定了非單向流潔凈室的流態實質是突變流、非均勻流。為了維持潔凈室內較低的顆粒物濃度，不僅要確定臺理的換氣次數，同時臺理控制室內顆粒物的產生率、顆粒物的沉降率、回風和排風引起的顆粒物的減少以及 漏風引起的顆粒物的增加或減少等這些變量，從而有效提高室內的空氣潔凈度。(1)保持正壓：這是非單向流式氣流組織的最主要之點。一般在2~6次/h換氣次數范圍內。(2)局部發塵的控制：非單向流潔凈室內由于氣流是非單向流，粉塵可以擴散到任何地方，如果局部地點發塵而平均地影響全局，即使增加很多換氣次數，效果也不明顯...
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2025
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一、電子工廠潔凈室的空調負荷特點和節能(一)潔凈室的空調負荷潔凈室的凈化空調負荷由下面幾部分組成：1、室內負荷主要包括：①室內作業人員的散熱、散濕負荷。②室內照明燈具的散熱負荷。③潔凈室圍護結構(墻、頂、地、門、窗)的傳熱、傳濕負荷。④生產設備和生產過程的散熱、散濕負荷。2、潔凈室新風處理的熱、濕負荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。3、空氣輸配時風機(或FFU)的溫升和水泵的溫升負荷。(二)高級潔凈室的空調負荷特點1、高級別潔凈室(100級，10級，1級)是垂直單向流潔凈室，其送風機的風量非常大，高達400~500次/h換氣，而且風機的壓頭也很高，一般多在1000~1500Pa，因此風機溫升的負荷大。按理論計算：在集中送風方式的系統中，風機的溫升為1.5℃，僅此一項的負荷就是500~700W/m2；如果采用FFU送風方式，風機溫升的負荷也要250~350 W/m2因此，風機溫升的負荷大是其一個負荷特點。2、服務于微電子和光電子的高級別潔凈室因工藝排風量大，所以新風量也很大，新風量一般在10~20次h換氣；因此，處理如此多新風的負荷大約為400~800 W/m2；個別工藝的排風量更大，固新風負荷也還會更大。因此新風負荷大是其第二個負荷特點。3、生產設備和生產過程的散熱、散濕負荷大，是高級別潔凈室的第三個負荷特點。生產負荷的大小是與工藝生產本身的性質、生產設備的密閉、保溫、通風以及...
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一、材料的選用和保管材料是確保潔凈廠房潔凈度的最基本條件。潔凈空間施工必須在材料的選取、采購、運輸保管過程中做到合理嚴謹。潔凈空調系統的風管采用鍍鋅鋼板加工。吊架，加固框，連接件均采用鍍鋅件；法蘭墊料應用有彈性、不產塵，有一定強度的軟橡膠或者乳膠海綿；風管的外保溫采用難燃橡塑板，以專用膠粘貼，嚴禁在施工過程中使用玻璃棉等纖維制品。由于不同材質的管道其透氣性能并不相同，所以輸送生產所需氮氣、壓縮空氣和真空的管道選用能夠阻止大氣中氧的滲透和腐蝕的不銹鋼管。在材料的采購過程中必須嚴格按照設計要求選用同種產品中有質量保證的產品，并且不得隨意更改調換。進場實物檢查時要注意材料規格，材料光潔度，板材要檢查平整度，邊角角方度，鍍鋅層的粘結度等。材料運輸過程中必須注意保持材料完好的包裝，防潮、防撞擊、防污染。重要的管段端頭要有塑料或橡膠的密封罩加以密封，不得出現脫落和破裂。在保管過程中各種材料應設立專用倉庫，不得露天存放，更不得日曬和風吹雨淋。存放處必須干凈，無污染源，避免潮濕。同時應縮短材料倉庫存放時間，做到隨用隨進貨,盡量不出現積壓。電氣所用線管、橋架、電纜及配電箱等無特殊要求，但在生產后要在第一時間進行如下處理：首先對成品進行吹掃，再用工業酒精進行擦拭，然后用塑料布進行密封包纏。并且在運輸和儲存過程中不準將其外包裝去掉，以防止灰塵附著。二、施工準則無塵施工的基本原則：1.不得攜入帶有垃圾塵埃...
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