一、國(guó)內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房?jī)?nèi)氣體管道的干管、支干管與水管、電纜等基本上是敷設(shè)在技術(shù)夾道、管廊、上下技術(shù)夾層內(nèi)，符合潔凈室生產(chǎn)工藝和美觀的要求，也便于各種管道的安裝和維修。規(guī)定與水、電管線盡量共架，是從節(jié)省管架的鋼材耗量，少占空間，降低廠房層高，并考慮到氣體管道的特性，一旦產(chǎn)生泄漏易于發(fā)現(xiàn)和排除，為此規(guī)定共架時(shí)應(yīng)設(shè)在其它管道的上部。

二、引入潔凈室氣體管道及管架設(shè)裝飾面板，這種做法既滿足生產(chǎn)工藝的要求，又保持潔凈室的整潔美觀，面板的顏色通常與潔凈室內(nèi)的環(huán)境相協(xié)調(diào)；也可與水管道等的裝飾面板統(tǒng)一設(shè)置。

為了安全，防止可燃?xì)怏w泄漏時(shí)積聚，可燃?xì)怏w管道應(yīng)敷設(shè)在裝飾面板的外側(cè)，水平敷設(shè)時(shí)應(yīng)在其頂部便于向上擴(kuò)散，通過報(bào)警探測(cè)器予以發(fā)現(xiàn)和排除。

三、氣體管道的管徑通常應(yīng)按氣體流量、壓力和流速確定。考慮了高純氣體使用場(chǎng)所的特殊性：一是生產(chǎn)工藝復(fù)雜，加工精細(xì)，技術(shù)更新?lián)Q代快，生產(chǎn)工藝隨時(shí)調(diào)整；二是，有些生產(chǎn)設(shè)備用氣量很小，為此管徑要考慮并能適應(yīng)生產(chǎn)調(diào)整的需要，如氣體干管不一定要按流量計(jì)算逐級(jí)設(shè)變徑，同時(shí)還應(yīng)注意到管徑過大，不僅浪費(fèi)材料而且對(duì)高純氣體管道初次吹掃，放空時(shí)間長(zhǎng)，氣體消耗量大。尤其當(dāng)間斷用氣，由于氣體流速小，要達(dá)到規(guī)定的氣體質(zhì)量較困難或者需要很長(zhǎng)的時(shí)間。

各種高純氣體在輸送過程中應(yīng)盡量減少污染，同時(shí)考慮管道系統(tǒng)易于吹除，因此管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短，不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的死角。

為便于在高純氣體管道投入使用前或檢修前后或當(dāng)氣體純度不符合要求時(shí)進(jìn)行吹除，管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必要的吹除口。為驗(yàn)證吹除效果，吹除后是否符合要求和檢測(cè)氣體在輸送過程中的純度是否發(fā)生變化，管道系統(tǒng)設(shè)置取樣口是十分必要的。

四、氣體管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫，是便于檢查焊縫的焊接質(zhì)量。為保持潔凈室的空氣潔凈度和室內(nèi)正壓規(guī)定，管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施，密封材料常用硅橡膠等填堵。

五、可燃?xì)怏w和氧氣管道系統(tǒng)發(fā)生事故或氣體純度不符合要求時(shí)，需吹除置換，這些氣體吹除置換時(shí)不能排入室內(nèi)，所以在管道末端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)放散管，以便將氣體排入大氣。放散管的排放口應(yīng)高出屋脊1m，以防止由于風(fēng)向的影響使排放的氣體倒灌回室內(nèi)。

六、對(duì)氣體純度要求嚴(yán)格的生產(chǎn)工藝，如電子工業(yè)中電真空器件、半導(dǎo)體器件、特種半導(dǎo)體器件、集成電路等生產(chǎn)工藝，從材料制備到器件制造、封裝、性能測(cè)試等工藝過程中各種高純氣中的雜質(zhì)含量將直接影響產(chǎn)品的合格率，如氫氣用于硅外延時(shí)，在高溫下氫中的微量氧和水汽易與硅作用生成二氧化硅而影響完整結(jié)晶生長(zhǎng)，致使外延片的堆垛層錯(cuò)密度高，甚至變成多晶。

氮?dú)庠跀U(kuò)散過程中作運(yùn)載氣時(shí)，如氮?dú)庵泻醒鹾退资构杵砻嫜趸９蕦?duì)凈化裝置的設(shè)置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度的要求，選擇相應(yīng)的氣體凈化裝置。

為保證使用點(diǎn)氣體純度符合要求，規(guī)定氣體終端凈化裝置宜設(shè)在鄰近用氣點(diǎn)處以縮短高純氣體管道的長(zhǎng)度，避免污染，氣體終端凈化裝置應(yīng)該是距離用氣點(diǎn)越近越好。

七、在各種生產(chǎn)工藝過程中不僅對(duì)各種氣體純度要求十分嚴(yán)格，而且對(duì)氣體中含塵量也有相應(yīng)嚴(yán)格的要求，有關(guān)專家指出，高純氣體中含塵量比其純度在一定意義上顯得更為重要，因此規(guī)定了根據(jù)不同的生產(chǎn)工藝要求設(shè)置相應(yīng)精度的氣體終端過濾器，并規(guī)定應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)。

在潔凈廠房?jī)?nèi)一般設(shè)置預(yù)過濾器和高精度終端氣體過濾器。預(yù)過濾器是設(shè)在潔凈廠房氣體入口室的干管上，作為預(yù)過濾，以減輕終端過濾器的負(fù)擔(dān)，并延長(zhǎng)其使用壽命。

預(yù)過濾器的濾材通常采用多孔陶瓷管、多孔鋼玉管、微孔玻璃制品、微孔泡沫塑料、粉末冶金管、聚丙腈纖維等。

高精度終端氣體過濾器是設(shè)在靠近用氣設(shè)備的支管上。其濾材采用超細(xì)玻璃棉.高效濾紙、醋酸纖維素濾膜、粉末金屬材料等。

八、進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道其種類依生產(chǎn)工藝的不同而定，通常有不同壓力的干燥壓縮空氣、氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻錃狻⒑狻⒌獨(dú)浠旌蠚庖约罢婵盏裙艿溃话愀鞣N管道上均設(shè)有總控制閥門，壓力表(或真空表)、流量計(jì)、過濾器、減壓裝置、在線分析儀等，規(guī)定集中設(shè)在氣體入口室內(nèi)，是便于多種氣體管道統(tǒng)一管理和控制，以利安全生產(chǎn)。

九、氣體入口室內(nèi)有可燃?xì)怏w管道如氫氣、氮?dú)浠旌蠚獾葧r(shí)，按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》的規(guī)定，其生產(chǎn)類別屬于甲類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)，其設(shè)置的位置和泄壓面積應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》的規(guī)定。電氣防爆按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》的規(guī)定為1區(qū)爆炸危險(xiǎn)環(huán)境，為此應(yīng)按現(xiàn)行規(guī)范的要求執(zhí)行。

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