一、凈化空調系統的設置方式 

潔凈廠房中的凈化空調系統有集中設置方式和分散設置方式。集中設置方式是將空氣處理機組 (AHU) 集中設在空調機房內，在空調機組內集中進行初效、中效或亞高效空氣過濾凈化和熱、濕處理，然后由送風管道輸送至潔凈室的吊頂上部，經過設在潔凈室頂棚上的末端高效空氣過濾器或高效過濾器送風口進行終端凈化送入潔凈室，實現產品生產工藝對潔凈度、溫度、相對濕度和壓力的要求。潔凈室回風經回風口、回風管再返回至空調機房的空調機組內與新風混合，重復進行熱、濕處理和凈化處理。這類集中式系統可有全新風 (直流系統) 方式，一次回風方式和一、二次回風方式以及 MAU+RAU 方式等。

為了節能、消除空氣熱濕處理過程中的冷執相互抵消，當潔凈送風量大于消除熱、濕負荷的空調送風量時，最好采用一、二次回風系統將二次混合點設計在系統送風點上，這是節能、經濟的凈化空調系統。當多個潔凈室的潔凈度，溫、濕度要求不同，各潔凈室內的產熱量和產濕量也不盡相近時，為了確保每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求應設置多個循環機組(RAU);循環機組的送風量是凈化送風量，并且在機組內設置必要的熱、濕處理設備，用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證潔凈室溫、濕度精度的微調節。由于循環機組設在潔凈室的吊頂上面，循環機組的送風余壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短小。新風機組 (MAU) 設在空調機房內，這些潔凈室的新風全部由 MAU 提供熱、濕和凈化處理，然后輸送至各循環機組與回風混合。

幾種形式各具特點和適用性，在實際應用中，應根據具體工程項目的潔凈室規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點及其要求確定，同時應考慮運行經濟和降低能量消耗。

二、凈化空調系統的送風方式 

1、集中送風方式 

集中送風系統 ，室外新風經新風處理裝置 (MAU) 后，與經表冷器降溫和風機增壓的潔凈室 (區) 回風混合，通過高效過濾器送至潔凈生產層。

采用數臺大型新風機組和凈化循環機組集中設置在空調機房內，空調機房可位于潔凈室的側面或頂部。經過溫度、濕度處理和過濾后的空氣由離心風機或軸流風機加壓通過風管送入送風靜壓箱，再經由高效過濾器或超高效過濾器過濾送入潔凈室。回風經格柵地板系統流入回風靜壓箱，再回到凈化空調系統的循環系統，如此反復循環運行。

2、隧道潔凈室送風方式 

隧道送風系統 ，潔凈室 (區)的回風經維修區與新風處理裝置 (MAU) 處理后的新風混合，由循環空氣處理裝置送入送風靜壓箱，通過空氣過濾器送入潔凈生產層。

這種送風方式一般把潔凈室劃分為生產核心區、維護區。生產核心區要求高潔凈度等級和嚴格的溫、濕度控制，設在單向流送風區內;維護區要求較低，設置生產輔助設備或無潔凈要求的生產設備尾部和配管配線等。生產區為送風區，維護區為回風區，構成空氣循環系統。一般隧道式送風由多臺循環空氣系統組成，所以其中一臺循環機組出現故障不會影響其他區域的生產環境潔凈度等級，并且各個循環系統可根據產品生產需要進行分區調整控制。

3、風機過濾單元送風方式 

風機過濾單元送風也稱為FFU系統 ，潔凈室 (區) 的回風經表冷器峰溫后與處理后的新風混合，通過 FFU 增壓、過濾送入潔凈生產層。

這是在潔凈室的吊頂上安裝多臺風機過濾單元機組 ，構成凈化循環機組，不需要配置凈化循環空調機房，送風靜壓箱為負壓。空氣由FFU送到潔凈室，從回風靜壓箱經兩側夾道回至送風靜壓箱:根據潔凈室的溫度調節需要，一般在回風夾道設置干式表冷器。新風處理機組可集中設在空調機房內，處理后新風直接送入送風靜壓箱。因送風靜壓箱為負壓，有利于高效過濾器頂棚的密封，但由于 FFU 機組臺數較多，在滿布率較高時。一般投資較大，運行費用亦多。有的 FFU 噪聲較大，選用時需要注意。

4、模塊式風機單元送風方式 

它是送風機安裝在 HEPA 或 ULPA 之上，1 臺送風機可配數臺高效過濾器的空氣循環系統。這種模塊式風機單元 (fan module unit，FMU) 循環系統是無風管道方式，空氣輸送速度較低，送風機和過濾器維修較方便，能量消耗較少。

5、微環境+開放式潔凈室的送風方式 

這種方式是為了確保生產環境要求極為嚴格的半導體芯片生產的關鍵工序或設備的微環境控制達到高潔凈度等級 (如 0.05~0.1 μm，ISO 1級)，而其周圍的開放式大面積潔凈環境僅保持在相對較差的潔凈度等級 (如ISO 5 級或ISO6 級)，微環境內控制潔凈度嚴格的單向流潔凈環境，而開放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能量消耗較少，工藝布置靈活性好，建設投資和運行費用都可以降低。

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